海太半导体导入三维自动光学检测仪检出设备效果显著
发布时间:2017-07-12 16:58 浏览次数:【字号:默认 大 特大】
为保证在整个DRAM行业的综合竞争力,海太半导体始终坚持持续改善。今年3月,海太模组正式引入三维自动光学检测仪检出设备,实现了二维到三维的转变。通过导入该设备,二季度以来,模组制造PQC Gate平均降至75ppm,品质指数(不良率)下降25%,效果显著。
三维自动光学检测仪检出设备采用二维和三维结合的检出方式,弥补了二维设备仅限平面检测,检出率低下的弊端,对于提高检出率,通过远程控制系统,快速、及时地判定及反馈不良,提升生产效率,节约人力都有积极意义。